Machines voor het reinigen van wafels

Reinigingsproces

Corrosiepreventie van componenten is vereist

Schroeven met een superieure chemische bestendigheid kunnen worden gekozen om bestand te zijn tegen de omgeving in apparatuur waar chemicaliën worden toegepast.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Chemische weerstand

＊1：Hastelloy is een geregistreerd handelsmerk van Haynes International, Inc.
＊2：VESPEL is een geregistreerd handelsmerk van DuPont.

Zie hier voor meer details over chemicaliënbestendige schroeven▶

Apparatuur voor oxidatie/diffusie

Warmtebehandeling/oxidatie/diffusieproces

Weerstand tegen hoge temperaturen en chemicaliën is vereist

Voor omgevingen waar verschillende gassen bij hoge temperaturen worden gebruikt, kiest u schroeven met een uitstekende hittebestendigheid en chemische bestendigheid.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Hittebestendig Chemische weerstand

＊1：Inconel is een geregistreerd handelsmerk van Special Metals Corporation.
＊2：Hastelloy is een geregistreerd handelsmerk van Haynes International, Inc.
＊3：MAT en MAT21 zijn geregistreerde handelsmerken van Proterial, Ltd.

Coater/ontwikkelaar

Filmvormingsproces

Verbeterde productiecapaciteit is vereist

Gebruik een koppeling met hoge stijfheid voor de snelle rotatie die nodig is voor de vorming van fotoresistfilm op de wafer.

Vereiste kenmerken voor koppelingen：Hoge stijfheid

Corrosiepreventie van componenten is vereist

Schroeven met een superieure chemische bestendigheid kunnen worden gekozen om bestand te zijn tegen de omgeving in apparatuur waar chemicaliën worden toegepast.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Chemische weerstand

＊1：Inconel is een geregistreerd handelsmerk van Special Metals Corporation.

Apparatuur voor halfgeleiderlithografie

Fotolithografie proces

Verbeterde nauwkeurigheid van de apparatuur is vereist

Zelfs de kleine schroeven die bij verbindingen worden gebruikt, maken het mogelijk de nauwkeurigheid van de belichting te verbeteren door de invloed van reflectie te onderdrukken.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Anti-reflectie

Anti-reflectie schroeven Zie hier voor meer details▶

Etsapparatuur

Ets proces

Weerstand tegen hoge temperaturen en chemicaliën is vereist

Voor omgevingen waar verschillende gassen en oplosmiddelen bij hoge temperaturen worden gebruikt, kiest u schroeven met een uitstekende hittebestendigheid en chemische bestendigheid.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Hittebestendig Chemische weerstand

＊1：Hastelloy is een geregistreerd handelsmerk van Haynes International, Inc.

Hittebestendige schroeven▶

Chemicaliënbestendige schroeven▶▶

Motorschade moet worden voorkomen

Componenten met uitstekende isolerende eigenschappen zijn vereist als tegenmaatregel om bekrachtiging door vacuüm variabele condensatoren te voorkomen.

Vereiste kenmerken voor koppelingen：Isolerende eigenschappen

Apparatuur voor ionenimplantatie

Ionenimplantatieproces

Verbeterde mate van vacuüm is vereist

De mate van vacuüm kan verder worden verbeterd door lucht te verwijderen die in het schroefgat is opgesloten.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Vacuüm

Een schroef die bij hoge temperaturen niet gaat galmen is vereist

We hebben schroeven die vreten door warmtewisselingen in omgevingen van 1000°C of hoger voorkomen.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Hittebestendig

Verbeterde nauwkeurigheid van de apparatuur is vereist

Voor de bevestigingsmiddelen moeten niet-magnetische componenten worden gebruikt om te voorkomen dat ionen afbuigen vanwege de magnetische eigenschappen van het onderdeel.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Niet-Magnetische

Filmafzettingsapparatuur / sputterapparatuur

Filmvormingsproces

Motorschade moet worden voorkomen

Componenten met uitstekende isolerende eigenschappen zijn vereist als tegenmaatregel om bekrachtiging door vacuüm variabele condensatoren te voorkomen.

Vereiste kenmerken voor koppelingen：Isolerende eigenschappen

Weerstand tegen hoge temperaturen en chemicaliën is vereist

Voor omgevingen waar verschillende gassen bij hoge temperaturen worden gebruikt, kiest u schroeven met een uitstekende hittebestendigheid en chemische bestendigheid.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Hittebestendig Chemische weerstand

＊1：Hastelloy is een geregistreerd handelsmerk van Haynes International, Inc.
＊2：Inconel is een geregistreerd handelsmerk van Special Metals Corporation.

Hittebestendige schroeven▶

Chemicaliënbestendige schroeven▶▶

Verbeterde mate van vacuüm is vereist

De mate van vacuüm kan verder worden verbeterd door lucht te verwijderen die in het schroefgat is opgesloten.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Vacuüm

Apparatuur voor fysieke inspectie

Inspectie-/evaluatieproces

Verbeterde mate van vacuüm is vereist

De mate van vacuüm kan verder worden verbeterd door lucht te verwijderen die in het schroefgat is opgesloten.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Vacuüm

Verhoogde inspectienauwkeurigheid is vereist

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Niet-magnetische

Zie hier voor meer details over niet-magnetische schroeven▶

Tegenmaatregelen tegen het loskomen van schroeven en vervuiling zijn vereist

Er is een reeks niet-magnetische inbusbouten verkrijgbaar.
Vergeleken met sleufdoppen en kruisverzonken doppen is het minder waarschijnlijk dat de vorm van de zeskantige dop een cam-out ondergaat, waardoor deze effectief is bij het voorkomen van verontreiniging.
De hoge sterkte van 64 titanium maakt het ook mogelijk om met hogere koppels vast te draaien, waardoor het ook effectief is als tegenmaatregel tegen losdraaien.
Het assortiment van 64 titanium en fosforbrons zeskantige cilinderkopschroeven loopt van M2 naar boven.

Beeld
Onderdeelnaam	Inbusbouten met zeskantige kop - Titaniumlegering met hoge intensiteit	Inbusbouten met zeskantige kop - Fosfaat brons
Onderdeel nummer	SNSTG	SNSP
Materiaal	64 Titanium	C5191 (fosforbrons)
Draadgrootte	M2~M10	M2~M8

Miniatuurschroeven▶

Elektrische inspectieapparatuur

Inspectie-/evaluatieproces

Verbeterde nauwkeurigheid van de apparatuur is vereist

Realiseert een nog grotere versterking van de servomotor, wat leidt tot een kortere stabilisatietijd.

Vereiste kenmerken voor aandrijfcomponenten：Ondersteuning voor hoge versterking

Er is meer compacte apparatuur vereist

We hebben schroeven met een kleine diameter van M2.6 en minder, inclusief S0.6 hoger en M1 hoger.

Vereiste eigenschappen voor speciale schroeven：Ruimtebesparend