NBK-logo

Datum gepubliceerd: 26 okt. 2022 Datum bijgewerkt: 30 jul. 2024

Nr. 6: Thermische Fietsen

Wat is thermisch fietsen?

Afhankelijk van de specifieke apparatuur kan de binnenkant van halfgeleiderproductieapparatuur hoge temperaturen bereiken van 500° tot 1000°.
Voorbeelden zijn ionengeneratoren in ionenimplantatieapparatuur, lichtbronnen in lithografieapparatuur, etc.
Ook kunnen coating- en etsapparatuur temperaturen van 200° tot 400° bereiken bij het verwerken van wafels.

De herhaalde temperatuurveranderingen in dergelijke apparatuur worden thermische cycli genoemd.
Visualisatie van thermische cycli

NBK biedt schroeven die kunnen worden gebruikt om omgevingen met hoge temperaturen en thermische cycli aan te kunnen.

<Omgevingen met hoge temperaturen>
Er zijn schroeven verkrijgbaar die bestand zijn tegen omgevingen met hoge temperaturen.
Wolfraam en pure molybdeenmaterialen hebben hoge smeltpunten (3683 °C voor wolfraam, 2623 °C voor puur molybdeen).
Neem voor overige materialen contact op met onze klantenservice.
  SNCW_index  SNSI_ind SNSM_ind SICX-SX_index SCX-C_ind SPD-C_ind
Materiaal Wolfraam Tantaal Inconel Puur Molibdeen Siliciumcarbide (SiC) Al2O3(99.5% Alumina) VESPEL SP-1
Onderdeelnaam Machineschroeven met sleufkop (wolfraam) Hex inbusbouten (tantaal) Inbusbout -Inconel equiv Hex Socket Head Cap Schroeven - Molybdeen Platkopschroeven met sleuf (siliciumcarbide) Keramische zeskantkopbouten Plastic Schroef - Socket Head Cap Schroeven - VESPEL (Grade: SP-1)
Onderdeel nummer SNCW SNSTA SNSI SNSM SICX-SX SCX-C SPD-C
  Klik hier voor de line-up

<Hoge temperatuur + vacuümomgevingen>
Ontgassingsgaten voor vacuümapparatuur worden gefreesd op hittebestendige materialen.
  SVSI_index SVSM_index
Materiaal Inconel Puur Molibdeen
Onderdeelnaam Zeskantige inbusbouten (Inconel-equivalent) Molybdeen Hex Inbusbouten Met Ventilatiegat
Onderdeel nummer SVSI SVSM

<Beslagpreventie>
Er zijn schroeven verkrijgbaar die bestand zijn tegen invreten en vastlopen in omgevingen met thermische cycli.
  SNSL-PN_ind SVSL-PN_index SNSS-MO_ind SNSS-RY_ind SNSS-TF_ind SNSS-AUS_ind SNSS-FC_ind
Materiaal SUS316L SUS316L SUSXM7 (equivalent aan SUS304) SUSXM7 (equivalent aan SUS304) SUSXM7 (equivalent aan SUS304) SUSXM7 (equivalent aan SUS304) SUSXM7 (equivalent aan SUS304)
Onderdeelnaam Hex Socket Head Cap Schroeven - SUS316L / Oppervlakte verhardingsbehandeling Hex-socket Hoofdkapschroeven met ventilatiegat / Oppervlaktehardenbehandeling Zeskantige inbusbouten - MoS2-coating Hex Socket Head Cap Schroeven - Laag Temperatuur Black Chrome Zeskantkopschroeven - PTFE-coating Hex Socket Head Cap Schroeven - Gouden Coating Hex Socket Head Cap Schroeven - Fluorcoating
Onderdeel nummer SNSL-PN SVSL-PN SNSS-MO SNSS-RY SNSS-TF SNSS-AUS SNSS-FC
  Klik hier voor de line-up

<Losmaken voorkomen>
Schroeven van het geïntegreerde sluitringtype zijn beschikbaar. Veerringen worden gebruikt om thermische uitzetting op te vangen en losraken te voorkomen.
  SVSQS_ind  SVSQLG_index SNSQLG_index  
Materiaal SUSXM7 (equivalent aan SUS304) SUS316L SUS316L SUSXM7 (equivalent aan SUS304) SUSXM7 (equivalent aan SUS304)
Onderdeelnaam Hex Socket Head Cap Schroeven met Captive Washer en Ventilation Hole Sluitring Geïntegreerde zeskantbouten met ventilatiegat - roestvrij staal met hoge sterkte Sluitring Geïntegreerde zeskantbouten - roestvrij staal met hoge weerstand High Inbusbouten met binnenzeskant en sluitringen (I=3) Phillips kruisverzonken machineschroeven met platte kop en sluitringen (I = 3)
Onderdeel nummer SVSQS SVSQLG SNSQLG SNSQS SNPI3S
  Klik hier voor de line-up

  SNSI3T    
Materiaal TW340 (Grade 2 Titanium) Gelijkwaardig aan SUS304 Gelijkwaardig aan SUS304
Onderdeelnaam Titanium zeskantige inbusbouten met borgringen (I = 3) Zeskantkopschroeven met borgring (P=2) Zeskantkopschroeven met borgring (P=3)
Onderdeel nummer SNSI3T SNHP2S SNHP3S
  Klik hier voor de opstelling

Probleem Oplossing Voorbeelden per fabricageproces van halfgeleiders

Voorbeelden van probleemoplossingen worden geïntroduceerd door het fabricageproces van halfgeleiders.
Hier voorbewerken
Post-proces hier

"The Semiconductor Industry en NBK" rugnummers

Lijst hier

product Introductie Probleem / case studies Verbeterde productiviteit / werkbaarheid Compact / ruimtebesparend / lichtgewicht Hoge sterkte / hoge stijfheid Hittebestendigheid / corrosieweerstand Cleanroom / vacuüm / niet-magnetisch Halfgeleider productieapparatuur De halfgeleiderindustrie en NBK koppelingen Speciale schroeven Machine Elementen