Datum gepubliceerd: 26 okt. 2022 Datum bijgewerkt: 30 jul. 2024
Nr. 6: Thermische Fietsen
Wat is thermisch fietsen?
Afhankelijk van de specifieke apparatuur kan de binnenkant van halfgeleiderproductieapparatuur hoge temperaturen bereiken van 500° tot 1000°.
Voorbeelden zijn ionengeneratoren in ionenimplantatieapparatuur, lichtbronnen in lithografieapparatuur, etc.
Ook kunnen coating- en etsapparatuur temperaturen van 200° tot 400° bereiken bij het verwerken van wafels.
De herhaalde temperatuurveranderingen in dergelijke apparatuur worden thermische cycli genoemd.
Voorbeelden zijn ionengeneratoren in ionenimplantatieapparatuur, lichtbronnen in lithografieapparatuur, etc.
Ook kunnen coating- en etsapparatuur temperaturen van 200° tot 400° bereiken bij het verwerken van wafels.
De herhaalde temperatuurveranderingen in dergelijke apparatuur worden thermische cycli genoemd.
NBK biedt schroeven die kunnen worden gebruikt om omgevingen met hoge temperaturen en thermische cycli aan te kunnen.
<Omgevingen met hoge temperaturen>Er zijn schroeven verkrijgbaar die bestand zijn tegen omgevingen met hoge temperaturen.
Wolfraam en pure molybdeenmaterialen hebben hoge smeltpunten (3683 °C voor wolfraam, 2623 °C voor puur molybdeen).
Neem voor overige materialen contact op met onze klantenservice.
Materiaal | Wolfraam | Tantaal | Inconel | Puur Molibdeen | Siliciumcarbide (SiC) | Al2O3(99.5% Alumina) | VESPEL SP-1 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Onderdeelnaam | Machineschroeven met sleufkop (wolfraam) | Hex inbusbouten (tantaal) | Inbusbout -Inconel equiv | Hex Socket Head Cap Schroeven - Molybdeen | Platkopschroeven met sleuf (siliciumcarbide) | Keramische zeskantkopbouten | Plastic Schroef - Socket Head Cap Schroeven - VESPEL (Grade: SP-1) |
Onderdeel nummer | SNCW | SNSTA | SNSI | SNSM | SICX-SX | SCX-C | SPD-C |
Klik hier voor de line-up |
<Hoge temperatuur + vacuümomgevingen>
Ontgassingsgaten voor vacuümapparatuur worden gefreesd op hittebestendige materialen.
Materiaal | Inconel | Puur Molibdeen |
---|---|---|
Onderdeelnaam | Zeskantige inbusbouten (Inconel-equivalent) | Molybdeen Hex Inbusbouten Met Ventilatiegat |
Onderdeel nummer | SVSI | SVSM |
<Beslagpreventie>
Er zijn schroeven verkrijgbaar die bestand zijn tegen invreten en vastlopen in omgevingen met thermische cycli.
Materiaal | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (equivalent aan SUS304) | SUSXM7 (equivalent aan SUS304) | SUSXM7 (equivalent aan SUS304) | SUSXM7 (equivalent aan SUS304) | SUSXM7 (equivalent aan SUS304) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Onderdeelnaam | Hex Socket Head Cap Schroeven - SUS316L / Oppervlakte verhardingsbehandeling | Hex-socket Hoofdkapschroeven met ventilatiegat / Oppervlaktehardenbehandeling | Zeskantige inbusbouten - MoS2-coating | Hex Socket Head Cap Schroeven - Laag Temperatuur Black Chrome | Zeskantkopschroeven - PTFE-coating | Hex Socket Head Cap Schroeven - Gouden Coating | Hex Socket Head Cap Schroeven - Fluorcoating |
Onderdeel nummer | SNSL-PN | SVSL-PN | SNSS-MO | SNSS-RY | SNSS-TF | SNSS-AUS | SNSS-FC |
Klik hier voor de line-up |
<Losmaken voorkomen>
Schroeven van het geïntegreerde sluitringtype zijn beschikbaar. Veerringen worden gebruikt om thermische uitzetting op te vangen en losraken te voorkomen.
Materiaal | SUSXM7 (equivalent aan SUS304) | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (equivalent aan SUS304) | SUSXM7 (equivalent aan SUS304) |
---|---|---|---|---|---|
Onderdeelnaam | Hex Socket Head Cap Schroeven met Captive Washer en Ventilation Hole | Sluitring Geïntegreerde zeskantbouten met ventilatiegat - roestvrij staal met hoge sterkte | Sluitring Geïntegreerde zeskantbouten - roestvrij staal met hoge weerstand High | Inbusbouten met binnenzeskant en sluitringen (I=3) | Phillips kruisverzonken machineschroeven met platte kop en sluitringen (I = 3) |
Onderdeel nummer | SVSQS | SVSQLG | SNSQLG | SNSQS | SNPI3S |
Klik hier voor de line-up |
Materiaal | TW340 (Grade 2 Titanium) | Gelijkwaardig aan SUS304 | Gelijkwaardig aan SUS304 |
---|---|---|---|
Onderdeelnaam | Titanium zeskantige inbusbouten met borgringen (I = 3) | Zeskantkopschroeven met borgring (P=2) | Zeskantkopschroeven met borgring (P=3) |
Onderdeel nummer | SNSI3T | SNHP2S | SNHP3S |
Klik hier voor de opstelling |
Probleem Oplossing Voorbeelden per fabricageproces van halfgeleiders
Voorbeelden van probleemoplossingen worden geïntroduceerd door het fabricageproces van halfgeleiders.Hier voorbewerken
Post-proces hier
"The Semiconductor Industry en NBK" rugnummers
Lijst hier
product Introductie
Probleem / case studies
Verbeterde productiviteit / werkbaarheid
Compact / ruimtebesparend / lichtgewicht
Hoge sterkte / hoge stijfheid
Hittebestendigheid / corrosieweerstand
Cleanroom / vacuüm / niet-magnetisch
Halfgeleider productieapparatuur
De halfgeleiderindustrie en NBK
koppelingen
Speciale schroeven
Machine Elementen